Labor für REM/EDX Analyse
quantitative, bildgebende Analyse auf kleinsten Probenbereichen

In der Rasterelektronenmikroskopie (REM Analyse) wird eine Probenoberfläche mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl abgetastet. Der Elektronenbeschuss führt zur Emission niederenergetischer Sekundärelektronen, zur Rückstreuung hochenergetischer Primärelektronen und der Entstehung elementspezifischer Röntgenstrahlung (EDX Analyse). Die Kombination von beiden ist als gleichzeitige REM/EDX Analyse möglich.

Niederenergetische Sekundärelektronen stammen aus den obersten Nanometern einer Probe. Die zugehörigen Sekundärelektronenbilder geben die Probentopographie und die Oberflächenstruktur mit Auflösungsgrenzen im Nanometer-Bereich wieder (REM Analyse).

Die Intensität gestreuter Primärelektronen wird hingegen von der mittleren Ordnungszahl des Probenmaterials bestimmt. Die zweidimensionale Darstellung der Intensitätsverteilung verdeutlicht die Verteilung verschiedener Materialien (Materialkontrastbilder, Materialanalyse). Die Informationstiefe in diesem Modus liegt in der Größenordnung von 1 µm (ebenfalls REM Analyse).

Die Röntgenstrahlung, die für die Elementzusammensetzung der Probe spezifisch ist, wird im Labor zur chemischen Charakterisierung genutzt (chemische Analyse). Mittels geeigneter EDX- Detektoren wird dazu die Energie der Röntgenstrahlung bestimmt (EDX Analyse). Die gemessenen Intensitäten lassen quantitative Aussagen über die Elementzusammensetzung und Elementverteilung zu. Die Tiefe, aus der die Röntgenstrahlung stammt, ist abhängig vom Material und der gewählten Anregungsenergie. Sie liegt für typische Energien von 10 bis 20 keV im µm-Bereich.

Proben für die REM/EDX Analyse müssen vakuumkompatibel sein. Das ist für Festkörper, Pulver, Fasern, Kunststoffe, Polymere, Lacke, Metalle, Halbleiter, Glas, Kristalle Trocknungsrückstände etc. in der Regel der Fall. Moderne Geräte im Labor für REM/EDX Analyse sind bereits bei Drücken von ca. 1 mbar einsatzfähig (atmosphärisches Rasterelektronenmikroskop).

Tascon – Ihr Partner für REM/EDX Analysen

Wenn Sie wissen wollen, ob die REM/EDX Analyse an Ihren Proben möglich und erfolgversprechend ist, wenn Sie genau wissen wollen, was Sie mit der REM/EDX Analyse über Ihre Oberflächen herausfinden können und ob Sie mit der REM/EDX Analyse die Probleme mit der Materialoberfläche lösen können, dann kontaktieren Sie uns, Tascon, das Labor für REM/EDX Oberflächenanalyse.